ASUMI技研等离子体表面清洗装置 等离子体表面清洗装置 真空等离子体表面改性装置

ASUMI技研准分子照射装置定制事例 准分子照射装置定制事例 用于R&D用扫描式准分子照射装置（ 400mm ）照射宽度400mm的准分子照射单元的扫描式照射装置。 大工件尺寸为400×800mm。 型号ASM400 E

ASUMI技研株式会社扫描准分子发射器 扫描准分子发射器 将以172nm为主波长的准分子照射单元和扫描用载物台、臭氧分解装置一体化，仅用100V的电源就能简单且安全地进行准分子表面改性实验的装置。 【特征】扫描用 可通过扫描用载物台进行比以往更大面积的处理。

ASUMI技研株式会社准分子照射装置 准分子照射装置 采用以172nm紫外线为主波长的准分子照射装置进行表面改性。因为采用了RF （高频）放电灯，闪烁少的稳定的输出功率。 另外采用平面型灯，大面积实现了均匀的照射 准分子照射装置（主波长: 172nm ）

ASUMI技研株式会社光学清洁器 光学清洁器ASM401iMP 使用特殊形状的灯，可以清洗到小型立体物上

ASUMI技研UV臭氧清洗表面改性装置 UV臭氧清洗表面改性装置 低压水银灯发出的184.9nm和253.7nm的紫外线，去除有机物和改善表面。 提供一套从较适合涂层前的润湿性方向和粘附性方向的R&D用小型装置到生产用装置、其他评价装置和臭氧分解装置等附属品 UV臭氧清洗重整装置ASM2003N

ASUMI技研株式会社涂复装置 浸涂机器 涂复装置 浸涂机器 研究用小型装置 定制设备 半定量生产装置 连续式量产装置 预处理装置 后处理装置