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ASUMI技研株式会社准分子照射装置

简要描述:

ASUMI技研株式会社准分子照射装置
准分子照射装置
采用以172nm紫外线为主波长的准分子照射装置进行表面改性。因为采用了RF (高频)放电灯,闪烁少的稳定的输出功率。 另外采用平面型灯,大面积实现了均匀的照射
准分子照射装置(主波长: 172nm )

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ASUMI技研株式会社准分子照射装置

准分子照射装置

采用以172nm紫外线为主波长的准分子照射装置进行表面改性。因为采用了RF (高频)放电灯,闪烁少的稳定的输出功率。 另外采用平面型灯,大面积实现了均匀的照射

准分子照射装置(主波长: 172nm )

Ø 因为采用了RF放电灯,闪烁少的稳定的输出功率。 采用平面型灯,大面积实现均匀的照射

Ø 准分子灯利用了封入稀有气体的灯内产生的放电等离子体(电介质阻挡放电)产生的光(准分子光)。

Ø 主要波长有126nm(Ar2)、146nm(Kr2)、172nm(Xe2)、222nm(KrCl )、308nm(XeCl )。

Ø 本公司采用利用了Xe2的以172nm为主波长的灯单元,提供表面改性、亲水化处理(润湿性方向上)用的装置

Ø 与将放电直接照射到工件的电晕放电、等离子体方式不同,准分子照射只是真空紫外线的照射,对工件几乎没有损伤。

Ø 与电极的溅射产生粉尘的电晕放电、等离子体方式不同,可进行清洁处理。

Ø 利用光的准分子照射没有处理不均。

Ø 可瞬时点亮、熄灭

Ø 因为采用了RF (高频)放电灯,闪烁少的稳定的输出功率。

Ø 采用平面型灯,大面积实现均匀的照射

ASUMI技研株式会社准分子照射装置

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