ME-0806D台式主动减震系统MEIRITZ明立精机

ME-0806D台式主动减震系统MEIRITZ明立精机

台式主动减震系统

ME-1007D,ME-0806D

石定盘空气弹簧式减振装置

AG-1007,AG-1209,AG-1510,AG-1809,AG-2010,AG-2412

台式主动减震系统概要：

在长期的历史和交付业绩中培养起来的减震技术开发的ME40系列更新为ME系列。将6自由度主动减震机构集约在紧凑的机体内，提供传统被动型无法实现的振动环境。在近年来进步显著的纳米技术领域，特别要求高精度、高分辨率的精密仪器性能得到最佳发挥，是最佳合作伙伴。

特点：

6自由度主动控制。搭载盘及安装面的振动进行实时监控，并通过内置的执行器施加反相力进行振动控制。以三维（6自由度）进行控制。

自动主动调整＆自动调平。活性控制所需的增益调整通过明立精机的原创控制系统自动优化。

轻量搭载物也有可能。通过检查装置结构，现在即使是像小型SPM这样的轻量载荷也能使用。

仅靠电源运行。使用所需的工具是电源。不需要压缩机等空气源。不受安装位置和使用环境的限制。

扫描探针显微镜（SPM）、共聚焦激光显微镜、干涉计系统、三维形状测量仪、激光位移计系统、及其他精密测量和精密加工设备。