SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途

SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途

直线导入机VL-40S，VL-70S，MLM-40ST，VCM-B

规格

焊接回流使用：伸缩方式

精确度：1mm/Rev、0.05mm/div

连接法兰：ICF70（114、152也可制作）

行程：0～40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

自动直线导入机WS-80，AVL-80S

其他，根据用途进行设计

规格

焊接回流：伸缩方式

行程：0～80mm

安装法兰：ICF70FH

前端部会根据用途制作

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

同轴自动变压机械臂ATL34_80_BN，ATL34_50_BN，MTR-34，VTL-70，ATL-152/114-450ST，ATL34-LS

本产品与以往的直线导入机不同，可动轴贯通，加上可以安装钓鱼等的法兰，使超高真空槽内的直线移动、定位等能够进行各种复合操作，因此附加了安装法兰ICF34可利用一般的送通，与使用电流导入端子的可动型检测器及其他运动导入机组合，可安装2轴动作机器人、气体导入阀等的可动型喷嘴、轻便毛皮等广泛使用。

规格

焊接贝罗使用：伸缩进给滚珠丝杆

精度：重复定位精度±0.01mm

分辨率：半步时0.00001mm/脉冲、限位开关・带原点传感器、使用接近点传感器

行程：080mm BNC付ICF34附属

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下