ICF70XY机械轴XY-70/70-40-10真空光学代理

ICF70XY机械轴XY-70/70-40-10真空光学代理

ICF70XY机械轴XY-70/70-40-10

规格:

X・Y平行移动：±10mm

精度刻度：0.01m/1div

安装法兰：ICF70

玫瑰内径：40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

X机械轴

X-70/70-M

规格

X方向移动：±12.5mm（线程马达驱动）、法兰面间110mm、分辨率0.04μm/pulse、带限位开关

安装法兰：基座法兰ICF70FH、移动法兰ICF70FT

焊接贝罗：外径φ60mm内径φ使用40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

回转导入机KMMR-34

本产品是可用于导入真空中安装的机器的旋转运动的超高真空区域的旋转导入机。

规格

连接法兰：ICF34

前端轴直径：6mm

引进轴长度：法兰面～35L

容许扭矩：4kg/f（磁耦合）

重量：0.55kg

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

回转导入机VBR-70

规格

使用焊接回流10 deg/1刻度

传递扭矩2N・m手动

连接法兰ICF70FH

旋转棒φ8（SUS304）带限位器

约820g

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下