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MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

简要描述:

MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀
逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安装在真空排气泵上部,是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话,会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护,在停止泵时,通过瞬间切断排气系统,防止粉

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MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安装在真空排气泵上部,是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话,会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护,在停止泵时,通过瞬间切断排气系统,防止粉尘逆流,保护产品不受污染。

 

非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0~90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室(蚀刻装置等)的压力控制可以快速响应,通过与AP系列控制器/电容计并用,可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

 

宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空压力控制中,随着过程的多样化,压力控制范围也呈现出多样化的趋势,特别是在低真空(高压)下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样,随着过程气体的多样化,变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。

宽压力控制范围:101.33kPa(大气压)~10Pa以下(760Torr~70mTorr以下)可以控制,还能加热到200℃。

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