MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

MEGATORR逆流防止阀M-NW50泵用阀

逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安装在真空排气泵上部，是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话，会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护，在停止泵时，通过瞬间切断排气系统，防止粉尘逆流，保护产品不受污染。

非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0～90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室（蚀刻装置等）的压力控制可以快速响应，通过与AP系列控制器/电容计并用，可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空压力控制中，随着过程的多样化，压力控制范围也呈现出多样化的趋势，特别是在低真空（高压）下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样，随着过程气体的多样化，变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。

宽压力控制范围：101.33kPa（大气压）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，还能加热到200℃。