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MEGATORR阀门压力控制器AP-420

简要描述:

MEGATORR阀门压力控制器AP-420
宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空压力控制中,随着过程的多样化,压力控制范围也呈现出多样化的趋势,特别是在低真空(高压)下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样,随着过程气体的多样化,变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。
宽压力控制范围:101.33kPa(大气压)~1

咨询电话:0755-28286052

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MEGATORR阀门压力控制器AP-420

MEGATORR阀门压力控制器AP-420

压力控制器AP-420

AP系列是电容计量器(压力真空计)和槽阀组合使用的压力控制器。可以从自适应/PID/混合动力3种类型中选择控制方式,确保半导体/FPD/太阳能电池等制造装置所要求的高速应答、高再现性的真空压力控制。也可以通过前面板进行设定,操作性非常容易。另外,由于CE标志、RoHS对应产品,被世界上所有产业的量产设备所使用

 

压力控制器AP-100R

Model AP-100R将制造装置中的真空室进行真空排气时,通过改变阀门电导,作为控制真空排气速度的下游压力控制装置使用。

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