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MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售 闸阀

简要描述:

MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售
非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通过阀部0~90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室(蚀刻装置等)的压力控制可以快速响应,通过与AP系列控制器/电容计并用,可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

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MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售

MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售

 

非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0~90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室(蚀刻装置等)的压力控制可以快速响应,通过与AP系列控制器/电容计并用,可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

 

宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空压力控制中,随着过程的多样化,压力控制范围也呈现出多样化的趋势,特别是在低真空(高压)下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样,随着过程气体的多样化,变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。

宽压力控制范围:101.33kPa(大气压)~10Pa以下(760Torr~70mTorr以下)可以控制,还能加热到200℃。

 

株式会社タクミナTACMINA,新明和工业,EIM电机工业,东洋电机工业所,DYNAFLOダイナフロー株式会社,FURUKAWA古河产机システムズ,㈱キョーワKYOWA,FUKKO伏虎金属工业,TEIKOKUDENKI帝国电机制作所,NIKKISO EIKO日机装エイコ-,株式会社スプルト工业SPURT,株式会社ナカキンNAKAKIN,株式会社ジャポンCHEMICAL,SEIKOW星光化工机,株式会社ワールドケミカルWCC,株式会社 トーケミTOHKEMY,名东化工机,株式会社イワキIWAKI,龟嶋铁工所,大同机械制造,株式会社工进,友野工业株式会社, 安永エアポンプ株式会社,KISHIGAMI岸上バルブ(),

 UCHIYAMAVALVE 内山バルブ製作所,SAWAMURA VALVECO(株)沢村バルブ, NAKAKITA SEISAKUSHO

中北製作所, HAGIWARA VALVE萩原バルブ,AIKAWA VALVE相川バルブ製作所,TAKATORI鷹取製作所,

HINOMOTO BEN MFG日の本辨工業株式会社,OKANO VALVE 岡野バルブ製造,OSAKAKIKI大阪機器製造,MIZUNO水野ストレーナー工業,SHOWA VALVE昭和バルブ製作所,HVI平田バルブ工業,NAKAMURA VALVE中村バルブ製作所,YAMADA VALVE 山田バルブ製作所,SHINWA伸和コントロールズ,SR工程株式会社

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