YAMATADENSO山下电装表面缺陷检测设备应用流传已久的魔镜(透光镜)原理,达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用
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YAMATADENSO山下电装表面缺陷检测设备
YAMATADENSO山下电装表面缺陷检测设备
应用流传已久的魔镜(透光镜)原理,达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。
非接触、非破坏性的检查,以及免维护的光学系统根据选配,可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。
即时显示所有表面状态。
光学系统对应等级1光学系统无须维护。
根据检测内容,可修正检测灵敏度
用途
镜面晶圆的表面检测
滑线检测
玻璃基板检测
其他镜面基板检测
选配
电动马达检测平移台
自动判定缺陷影像处理装置
影像列印机
搬运装置
检测尺寸:从φ100mm至φ300mm
检测内容:平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率:1x / 3x 模式可切换(标准设备)
检测灵敏度:检测灵敏度可连续调整
使用光源:550nm (固定照度之稳定光源)
镜头:高解析度CCD镜头
平台:手动平台(标准设备)
产品外观缺陷检测:用于检测产品的外观缺陷,如长度、高度、直径、混料、变形、缺料、毛刺、黑点、划伤等1。
表面缺陷检测:在电子、汽车、食品、医药等行业中,用于检测产品表面的缺陷,如划痕、污渍、裂纹、漆面不均、气泡、凹陷、破损、变形等2。
颜色识别:通过颜色传感器进行颜色识别,确保产品颜色符合标准3。
定位功能:通过工业摄像头获取图像坐标信息,自动判断物体位置3。
微小规格精密检测:利用高倍工业镜头或显微镜头进行微小物体的检测,如生物细胞、细小装配缝隙、小零部件等3。
非接触式检测:适用于高温、高压、流体、环境危险等场合,避免对被测对象的损坏3。