SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途ATL34_80_BN,ATL34_50_BN,MTR-34,VTL-70,ATL-152/114-450ST,ATL34-LSZ-70-ST100-U,Z-152/152-130ST,Z-203/203-50ST,VM152CHN
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SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途
SHINKU真空光学自动直线导入机WS-80用途
直线导入机VL-40S,VL-70S,MLM-40ST,VCM-B
规格
焊接回流使用:伸缩方式
精确度:1mm/Rev、0.05mm/div
连接法兰:ICF70(114、152也可制作)
行程:0~40mm
容许泄漏量:1.33X10-11Pa・m3/sec以下
自动直线导入机WS-80,AVL-80S
其他,根据用途进行设计
规格
焊接回流:伸缩方式
行程:0~80mm
安装法兰:ICF70FH
前端部会根据用途制作
容许泄漏量:1.33X10-11Pa・m3/sec以下
同轴自动变压机械臂ATL34_80_BN,ATL34_50_BN,MTR-34,VTL-70,ATL-152/114-450ST,ATL34-LS
本产品与以往的直线导入机不同,可动轴贯通,加上可以安装钓鱼等的法兰,使超高真空槽内的直线移动、定位等能够进行各种复合操作,因此附加了安装法兰ICF34可利用一般的送通,与使用电流导入端子的可动型检测器及其他运动导入机组合,可安装2轴动作机器人、气体导入阀等的可动型喷嘴、轻便毛皮等广泛使用。
规格
焊接贝罗使用:伸缩进给滚珠丝杆
精度:重复定位精度±0.01mm
分辨率:半步时0.00001mm/脉冲、限位开关・带原点传感器、使用接近点传感器
行程:080mm BNC付ICF34附属
容许泄漏量:1.33X10-11Pa・m3/sec以下