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SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150

简要描述:

SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150
KMV-70ST100
KMV-70ST100
本产品是通过超高真空中的冷冻机、高真空中的冷冻机等的移动及测定等实验,设计成能够正确且再现性地操作大气中的上下移动或X.Y的平行移动,并进行精密的制作、组装,以达到功能的优秀和精度本公司的产品广泛应用于各方面。

咨询电话:0755-28286052

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SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150

SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150

 

多轴机械臂VM-150

介绍:

本产品是通过超高真空中的冷冻机、高真空中的冷冻机等的移动及测定等实验,设计成能够正确且再现性地操作大气中的上下移动或X.Y的平行移动,并进行精密的制作、组装,以达到功能的优秀和精度本公司的产品广泛应用于各方面。

规格

XY平行移动:最大移动±10mm

移动密度10μ以下

Z方向移动:最大移动130mm

移动密度50μ以下

安装法兰:上部・・ICF70FT

下部…ICF152 FH

焊接贝罗:外径60mm内径40mm

容许泄漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下

 

简易型机械臂KMV-70 ST100

本产品通过超高真空中样品等的移动及测定等实验设计,可在大气中进行上下移动或X.Y的平行移动,本产品广泛应用于各方面。

规格

X.Y平行移动:最大移动±5mm

Z轴移动量:100m/m

安装法兰:上部法兰ICF70FT

下部法兰ICF70FH

焊接贝罗:使用内径40mm

容许泄漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下

 

冷冻机用机械臂CLM-70/70

本产品是通过超高真空中的冷冻机、高真空中的冷冻机等的移动及测定等实验,设计成能够正确且再现性地操作大气中的上下移动或X.Y的平行移动,并进行精密的制作、组装,以达到功能的优秀和精度本公司的产品广泛应用于各方面。也制作XY轴、Z轴的马达驱动。

规格

X.Y平行移动:最大移动±6.5mm(手动)、移动精度10μm以下

Z方向移动:100200m/m(手动)、移动精度50μm以下

安装法兰:基座法兰ICF70FH、移动法兰ICF70FT

焊接贝罗:外径φ60mm内径φ使用40mm

容许泄漏量:1.33X10-11Pam3/sec以下

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