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正品原厂hitachi日立高分辨场发射扫描电镜 电子显微镜

简要描述：

正品原厂hitachi日立高分辨场发射扫描电镜
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能

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深圳市井泽贸易有限公司

胡经理

正品原厂hitachi日立高分辨场发射扫描电镜

正品原厂hitachi日立高分辨场发射扫描电镜

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
  • 与现有机型相比分辨率提高了20％左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空样品仓
项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率0.8 nm
（加速电压15 kV）
1.1 nm
（着陆电压1 kV）*3		0.7 nm（加速电压 15 kV）
0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
着陆电压0.1～2 kV0.01～20 kV
放大倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4
样品台样品台控制3轴马达台（可选5轴马达台）5轴马达驱动
移动范围X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
R360°
T-5～70°
Z1.5～30 mm1.5～40 mm
再现性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

 

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