SD-10油扩散泵SHINKOSEIKI神港精机

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油扩散泵

SD-3,SD-4,SD-6,SD-8,SD-10,SD-14,SD-16,SD-22

SD-4H,SD-6H,SD-8H,SD-10H真空排气单元

SMB-200,SMB-C06,SMB-C15,SMB-C25,SMB-5000

油扩散泵【共通规格】

・工作油为Neo Back SX（SH-704）或Lion A

・如果工作油是DC-705，到达压力为4×10-6Pa，电力将增加20%～

　45%

・油蒸汽的逆流量为7×10-7～2×10-8g/min・cm2以下

【特长】

・排气速度大

・油蒸汽的逆流少

・加热器的寿命长（采用铝铸加热器）

・可获得高的允许背压（侧执行器型）

油扩散泵的工作原理是利用高速旋转的扩散器在泵内产生高速气流，将气体扩散至泵内壁面，然后被油膜捕集并被抽出泵。

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕，工作压力范围为10-1~10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。